l 测量范围：1nm～4000nm； l 测量最小值：≤1nm； l 镀膜折射率范围：1.3 ~ 2.49 l 入射角：40°～90° 误差≤0.05°； l 偏振器方位角范围：0°～180°； l 偏振器步进角：0.0375°/步； l 仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm； l 光学中心高度：75㎜； l 允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜； l 外形尺寸：730 x230X 290； l 主机重量：30kg； 椭圆偏振法测量的原理很早就已提出 ,相应的测试方法和设备也不断地被改进和创新 ,使得椭圆偏振法成为重要的测试手段 ,广泛地应用在光学、材料、生物、医学等各个领域〔1〕.其中测量薄膜材料的厚度、折射率和消光系数是椭圆偏振法最基本、也是非常重要的应用之一 . 本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看右图。 1、 光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定 性好。 2、 接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。 3、 主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。 4、 电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出 |
