仪器特点 1 非接触式测量，用光纤探头来接收反射光，不会破坏和污染薄膜； 2 测量速度快，测量时间为秒的量级； 3 可用来测薄膜厚度，也可用来测量薄膜的折射率n和消光吸收k； 4 可测单层薄膜，还可测多层膜系； 5 可广泛应用于各种介质，半导体，液晶等透明半透明薄膜材料； 6 软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数，可供用户参考； 7 内嵌微型光纤光谱仪，结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用。
参数和性能指标 厚度范围： 20nm-50um（只测膜厚），100nm-25um（同时测量膜厚和光学常数n，k） 准确度： <1nm或<0.5% 重复性： 0.1nm 波长范围： 380nm-1000nm 可测层数： 1-4层 样品尺寸： 样品镀膜区直径>1.2mm 测量速度： 5s-60s 光斑直径： 1.2mm-10mm可调 仪器成套性 测厚仪主体（内含光源和光纤光谱仪），光纤跳线，光纤探头，标准硅片，支撑部件，配套软件 可扩展性 通过光纤连接带有C口的显微镜，就可以使本测量仪适用于微区（>10um）薄膜厚度的测量。 强大的软件功能 界面友好，操作简便； 可保存测量得到的反射谱； 可读取保存的反射率数据； 可选择是否测量折射率n，消光系数k； 可选择光谱范围； 可猜测薄膜厚度以节省测量时间； 可从大量的材料库中选择薄膜和基底的材料； 用户可自己扩充材料库。 |
