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  • 真空镀膜系统

    中国教育装备采购网2007-10-09 17:09围观1165次我要分享

    离子镀膜技术是当今世界最先进的表面技术之一,它用途广泛,适应性强,具有靶材离化率高、镀膜速度快、膜层附着强度好、沉积温度低、对环境无污染等特点。该设备可用于沉积超硬涂层,如TiN、TiC、ZrN、CrN、MoN等,及多元复合膜如TiCN、TiAlN及TiCrN等,也非常适合沉积包 。

    联系人:邵天敏 教授

    电话:62783160

    来源:清华大学摩擦学国家重点实验室
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