最新Nanite B AFM 原子力显微镜拼接缝合(Stitching)技术

中国教育装备采购网2010-05-07 17:16围观453次我要分享

    高分辨率成像技术例如AFM常常会受制于他们的最大扫描范围。当同时需要AFM高的侧向分辨率和一个大扫描范围时,图像拼接技术是一个解决方案。图像拼接常用于从批量制作的图片中生成一个单一的全景图像。在更先进的操作中,这项技术也能被用于结合批量AFM测量生成单一大图像。因此,大尺寸表面区域的AFM图像,例如1 mm × 1 mm或100 μm × 100μm大小,能被简单的得到。
 
    Nanosurf Nanite AFM系统能全自动的测量和拼接所需要的图像。用户仅需要指定单个AFM图像大小和被测量区域的大小。然后AFM会执行好剩余的操作。测量完成后,图像被加载到Nanosurf Report Expert后处理软件中,然后一起被拼接成一个单一图像。这个图像仍然包含所有的精密测量数据,因此能像其他AFM图像一样具有所有的分析功能,包括高度和距离测量,粗糙度计算,颗粒和粒径分析,横截面分析,和3维成像功能。
 
LCD面板“像素”点成像
    现代平板屏幕制造技术(等离子,TFT-LCD,OLED)都基于多层工艺方法制造小而复杂的三维表层结构。常规的光学显微镜一般达不到要求当涉及到在三维空间检验这种表层结构的完整性和品质。在亚微米级领域这是明显失败的分析方法。另一方面,AFM是完美的解决方案,可以测量亚微米精度的三维轮廓数据。使用拼接技术,现在AFM甚至能完成大表面区域测量,例如LCD面板。

图5:一幅拼接好的AFM三维图像。这幅图(对应图4得到的拼接结果),200倍放大倍数,演示了使用Nanosurf Nanite B AFM和自动移动平台如何轻松获得高分辨率的三维数据。也演示了拼接结果是多么的严丝合缝。

图6:一个LCD面板的AFM拼接图像。这幅图(560μm × 570μm;160倍放大倍率)是10 × 10幅图像的结果,此结果是使用Nanosurf Nanite B AFM扫描记录和拼接,并运用了Nanosurf 控制和报告软件的拼接功能。此结构在尺寸上与图1所示光学图片相近,但提供了更多的细节和三维数据。
 
使用仪器
所有测量均使用Nanosurf Nanite B(110μm)AFM扫描头和ATS-A100自动移动平台。

 

来源:北京中宇亿诚科技有限公司作者:北京中宇亿诚科技有限公司

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