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  • 测定三氯氢硅中痕量磷

    中国教育装备采购网2011-05-12 11:46围观194次我要分享我要投稿

    TP8000型“高温氢还原-火焰光度气相色谱仪”简介
    (测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器)
    一、           前言
    半导体硅材料中磷含量的高低,直接影响器件的电性能。随着硅材料研究及生产的不断提高,对于原材料三氯氢硅中磷的测试灵敏度、速度、准确度提出更高要求。
    三氯氢硅中杂质磷的分析,传统的方法为将杂质磷转变成磷钼杂多酸,再还原成磷钼蓝进行比色测定。在此基础上后来有改进,诸如经苯肟酮或硫氰化铵比色测定钼,或利用化学光谱法测出钼量进而间接换算出磷含量;加大取样量等。虽然在灵敏度上有一定提高,但都要经过使磷形成磷钼杂多酸这一过程。为要形成稳定的络合物来分离基本和消除杂质干扰,化学分离手续相当繁杂,分析时间长,而且,测定灵敏度也不能满足生产上的要求。
    为了提高三氯氢硅中杂质磷分析灵敏度和速度,国内外相关科研人员做了大量工作。例如,有专家采用气相色谱法测定了三氯氢硅中以PCL3与POCL3形式存在的磷含量。然而,三氯氢硅中杂质磷还可能以其他形式存在(例如,PCL5、PSCL3),因此,欲采用气相色谱法测定总磷含量,首先要保证样品中以各种形式存在的磷都能从分离柱中流出,这无疑是一项很艰巨的工作,至今尚未见到报道。又例如,有专家采用“ICP—MS”法测定三氯氢硅中痕量杂质磷,测试方法虽然简捷,遗憾的是,测定灵敏度下限仅为0.3PPb,不能满足多晶硅生产工艺对三氯氢硅中杂质磷的分析要求(工艺要求三氯氢硅中杂质磷含量应小于0.1PPb)。
     
    二、           测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器“高温氢还原—火焰光度气相色谱仪”。
    针对上述现状,我公司专家级工程师经过多年在硅行业的丰富经验,与大量的切合实战分析,研制出测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器“高温氢还原—火焰光度气相色谱仪”。进几年已在国内硅行业多个生产厂家得到应用,反应极好,与价格昂贵的“ICP-MS”法比较有廉价实用,快速测定,痕量(≤0.06PPb)分析,耗材低等特性。对于快速反应指导三氯氢硅生产工艺,更加提纯硅产品,为社会提供更优质完美的单晶硅产品,是我司特别推出此套分析仪器的宗旨,也是您可信赖的合作伙伴。
                         
    TP8000分析仪总磷测定
    三氯氢硅———————————→多晶硅————→优质单晶硅产品
     
    三、           仪器的特点和指标
    1、 所测三氯氢硅中杂质磷含量为总磷含量;
    2、 三氯氢硅中杂质磷含量测定下限为0.06PPb;
    3、 测定手续简便只需用注射针筒向仪器注入三氯氢硅即可;
    4、 测定周期短,自注入三氯氢硅到测出磷化氢峰高(或面积)需时20分钟;
    5、 仪器结构简洁、直观,便于使用和维修。  
     
    仪器选购及售后服务
           在你购买仪器前协助你全面了解仪器的性能、特点,仪器选型的全面咨询服务。在您购买仪器后,我们可派专业技术人员前往您的单位进行仪器的首次安装、启动、调试。定期举办培训班,长期供应仪器的易损、易耗件。依国家行业标准,仪器实行三包,保质期十二个月,终身维修,自接到用户询问电话后,24小时内答复,若需到现场,48小时内到位,做好售后服务。
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