1、洁净室的发尘源
对于洁净室的尘源，除了来自室外大气的尘粒和进入洁净室的人和物携带的灰尘之外，洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。
①洁净室内作业人员的产尘。作业人员的产尘与所穿的洁净工作服的材料、型式、着装情况和作业人员本身的动作有关。因此，洁净室内的作业人员必须穿规定的工作服而且动作也要受到一定的限制。通常情况下，一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5-5.0×105个/人·分，是洁净室内的最主要的发尘源。
②洁净室围护和室内表面的产尘。随着洁净室装修材料的发展，耐磨、抗静电、少产尘的材料出现，洁净室内建筑产尘量越来越小。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3-5.0×104/m2·分，可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。
③生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。
2、洁净室的清扫
①人工擦拭法：即人用洁净室专用擦布和纯水对洁净室的地、墙、顶以及家具和设备表面进行擦拭。这种清扫方法较为彻底。
②分散式真空吸尘法：一般此方法只适用于低级别(1000级、10000级、100,000级)乱流洁净室。方法简单、灵活、方便，每天下班后均可采用此方法清扫。但由于移动式真空吸尘器内的圆筒形高效过滤器的效率比较低，因此不适用在高级别的洁净室。一般情况500m2洁净室可设两台吸尘器，每增加500m2增加一台，最多不超过10台。
③集中式真空吸尘法：集中式真空吸尘是一个由吸尘口、管网、集中吸尘泵、除尘器组成的系统。吸尘泵和除尘器设在专门的机房内，因噪声极大，机房不但要远离厂房和办公区，而且还要适当地作隔声消声处理。吸尘泵应有备用不应少于2台。系统的管道宜用无缝钢管焊接联接暗装敷设。其弯头曲率半径为4-6d煨弯不得折皱，三通夹角要小于45C，不应有四通(可由2个三通组合)，水平管道的坡度为3‰，坡向立管和吸尘点，拐弯处宜设清扫口。系统末端为吸尘口，平时有盖密封，使用时开盖插入吸尘软管进行吸尘。一般吸尘软管作用半径为8米，每个系统同时工作的吸尘口为4-5个，每个吸尘口的风量为150m3/时。集中式真空吸尘不会影响室内的洁净度，因此，集中式真空吸尘方法多用在级别较高(100级、10级、1级)，面积较大的洁净室中。
