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  • 从原理看选购匀胶机需要注意的细节

    中国教育装备采购网2017-04-19 09:36围观171次我要分享我要投稿

      匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

      选购技巧

      针对目前匀胶机市场品牌众多,良莠不齐现象,笔者结合自己多年从事匀胶机技术服务的实际经验。帮助广大用户提高辨别能力,为用户提供了直观明确的选择标准。

      从其原理来说,我们可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

      1、 旋转速度:转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围,并不能精确标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速,但是大部分转速精度没有国际标准认定。建议购买转速控制方面有国际认定标准的,比如:美国NIST标准等。

      2、 真空吸附系统的构造

      真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。

      3、 材质的选择

      对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

      KW型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。 匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证胶厚度的一致性和均匀性,为此,该机采取了如下措施: (一) 定子和转子分开供电。定子用稳压电源供励磁电流,转子用开关电源调速,它比用可控硅调速优越得多,转速在1000-8000转/分范围内非常稳定。 (二) 匀胶机有两个转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转。两转速及相应的时间分别可调。 (三) 本匀胶机测速采用光电的方法,在光电测速盘的边上有三个缺口,光电盘下面装有光电开关。当光电盘缺口转到光电开关上方时,光电开关的接收器没有信号,当光电盘的反射板(缺口以外的其余部分)转到光电开关上面时,光电接收器便接收到信号产生一个脉冲,光电盘旋转一周,光电接受器便接收到三次信号,因而产生三个脉冲。闸门由秒脉冲电路产生,周期为2秒。当马达旋转时,如果计时器在2秒内计得的数是n,则每秒钟应该转了n/(2×3)=n/6转,每分钟旋转(n/6)×60=10n转。故计数器就是每分钟转速,只不过差一个数量级。 匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变两个匀胶时间。在安装结构上,采取了减震措施,在运转时噪音很低。

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