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OPTON的微观世界 氩离子抛光制样经验分享

教育装备采购网 2017-07-19 13:26 围观1160次

  欧波同材料分析研究中心分析测试业务于年初正式上线,受到业内广泛关注。近期中心收到很多客户的咨询,询问一些特殊样品的制样方法或解决方案。我们根据客户咨询和反馈,整理了相关的案例分享给大家,希望能给大家点思路。

  一、微纳米颗粒 (针对200μm以下样品)

  应用范围:微纳米材料内部结构分析

  例 如:锂电池阳极材料、微纳米颗粒

  颗粒类的样品多数利用扫描电镜检测形貌、粒度统计、能谱并做一些长度测量,但是一旦涉及内部结构观察普通制样方式很难达到要求。

  制样方式 缺点

  研钵研磨/刀片压碎 只能看到断面的情况,而且成功率不高,电镜观察需要费时寻找

  镶嵌包埋 需要机械抛光,容易脱落;耗时;需考虑镶嵌料对样品影响

  举例来讲,图1是客户要求观察颗粒表面和断面形貌,研钵研磨后,结果并不理想,视野内可见大量碎裂颗粒,且断面情况各异更无法进行测量等工作。

  

图 1

  图2是用Gatan Ilion II设备抛光后结果,可见视野内颗粒全部切开,截面平整,易于观察测量;图3为局部放大,颗粒内部结构一览无余。

  

图 2

  

图 3

  二、多层复合材料/镀层/高分子薄膜

  应用范围:分层材料、薄膜或其他柔性材料

  例 如:锂电池隔膜、镀层等

  多层复合材料其实在我们生活中应用极为广泛,比如各种触摸屏。这类材料主要看截面分层情况,但是由于其柔性大,普通方式比如剪切、液氮脆断等都会导致分层扭曲、断面不齐整等问题,影响后续用电镜进行分层测量。举个例子-样品为电池极板(图4、图5):

  图4是剪刀剪切后的电镜结果,可以看到由于剪切力的影响,层次不够分明,无法进行精确测量,无法提供有效的信息。

  

图 4

  图5为Gatan Ilion II抛光后结果,层次清晰,可进行精确测量。

  

图 5

  三、电子元器件

  应用范围:各类微元器件

  电子元器件由于其越来越微小、越来越复杂,其失效时很难定位,也很难用普通手段看清其内部结构(图6)。图中结果用Ilion II 进行处理,局部放大图片能够看到几十个nm结构,后续进行分析带来极大便利。

  

图 6

  我们再来看一例(图7)

  

 图 7

  红框1局部放大,可见有10层结构

  

图 8

  红框2局部放大,一目了然

  

图 9

  后 记

  以上是小编本期分享的内容,希望对大家有帮助,最后是广告时间。

  测试需求或项目合作

  欢迎访问我中心网站:http://m.optonlab.com/

  想了解Gatan Ilion II设备详细信息

  欢迎访问公司网站:http://www.opton.com.cn/或致电:400-100-1303。

  下期有什么精彩内容呢?敬请期待吧!

点击进入北京欧波同光学技术有限公司展台查看更多 来源:教育装备采购网 作者:北京欧波同光学技术有限公司 责任编辑:段河伟 我要投稿
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