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第 1 / 1 页
晶圆加工精度控制的关键!Yaw偏航角追踪的闭环XY方向控制
近年来,半导体行业飞速发展,节点技术不断缩小,EUV(紫外)和电子束技术成为佳选择,对例如晶圆,光罩,光束对准,光学元件,反射镜等的纳米加工要求也逐步提升。尤其是对...
2022-07-26
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[技术]
高教
ETH Zurich Norris教授课题组:3D纳米直写技术助力任意形貌六方氮化硼(hBN)纳米3D结构的制备
【引言】六方氮化硼(hBN)单晶纳米片的原子平滑表面,为光电应用领域带来了革命性的突破。在纳米光学方面,hBN的强非线性、双曲线色散和单光子发射等特性,为相应的光学和...
2021-06-16
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[前沿]
高教
扫描热探针刻写技术-综述
本文转载自微系统与纳米工程Thermalscanningprobelithography—areviewSamuelTobiasHowell,AnyaGrushina,FelixHolznerJuergenBrugger(MicrosystemsLaboratory,ÉcolePolyte...
2020-06-01
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[应用]
高教
快速制备点接触量子点硅基晶体管
制造高品质的固态硅基量子器件要求高分辨率的图形书写技术,同时要避免对基底材料的损害。来自IBM实验室的Rawlings等人利用SwissLitho公司生产的3D纳米结构高速直写机NanoF...
2019-02-26
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[应用]
高教
nano-Dog突破纳米加工尺寸限
近期,瑞士swisslitho公司利用3d纳米高速直写设备完成了nano-dog贺卡的制作,尺寸仅有9.2mx5.5m,z轴精度1nm,突破了纳米加工尺寸的限,是目前精度高的纳米贺卡。喜气洋洋的旺旺狗,体现了这款设...
2018-03-09
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[方案]
高教
T-SPL纳米加工双高斯凸透镜DBR光学微腔
导|读近期,瑞士IBM苏黎世研发中心的Colin博士和Swisslitho公司的Martin博士利用热扫描探针(T-SPL)纳米加工技术,配合干法蚀刻解决方案实现了相互作用微腔(两个相邻的光学微腔),并对微腔距离进...
2018-02-06
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[应用]
高教
NanoFrazor 3D纳米高速直写技术研讨会举办
毕加索名画及纳米线套刻工艺数秒呈现为便于国内外科研学者交流新纳米结构研究成果,共同推动纳米加工学科和新技术的蓬勃发展。2017年6月23日,QuantumDesign中国子公司与北京航空航天大学国际交...
2017-06-28
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[名企]
高教
全球小的三维纳米雄鸡贺卡 NanoFrazor专业定制
金鸡报晓已迎春,元宵临近聚福门,QuantumDesignChina恭祝大家新春愉快,元宵吉祥。上图这幅立体逼真的画作是QuantumDesignChina专为您打造的新年特别礼物。看到图像右面的坐标轴,是不是很惊讶...
2017-02-06
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[简讯]
高教
职教
NanoFrazor献上微纳结构加工的圣诞祝福
3DChristmascardmadebytheNanoFrazorinPPAresist.Thedimensions:12m*7m,depthfrom0to60nm这幅圣诞贺卡的整个画面尺寸仅有12m*7m,厚度仅有60nm,图中MerryChristmas字迹清晰且格外流畅,风景刻画...
2016-12-26
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[简讯]
高教
NanoFrazor——纳米加工新技术攻略
科学技术不断发展的时代,功能结构的微纳米化不仅可以带来能源与原材料的节省,同时可以实现多功能的高度集成和生产成本的大大降低。微纳米加工技术主要分为直接加工技术和图形转移技术。直接加...
2016-09-13
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[前沿]
高教
国家重点支持高新技术领域——仪器检测类
为加大对科技型企业特别是中小企业的政策扶持,有力推动大众创业、万众创新,培育创造新技术、新业态和提供新供给的生力军,促进解决升级发展,科技部、财政部、国家税务总局对《高新技术企业认...
2016-02-18
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[分析]
高教
2012年复杂流体流变学学术研讨会将于7月22-24日在浙大召开
为推动我国流变学理论与应用研究的发展,由浙江大学高分子复合材料研究所和上海交通大学流变学研究所共同主办的2012年复杂流体流变学学术研讨会即将于7月22-24日期间在浙江大学高分子大楼228报告...
2012-07-04
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[动态]
全领域
苏州工业园区纳米技术人才公共实训基地揭牌成立
教育装备采购网讯:从中科院获悉,为推动园区纳米技术发展,培养培训一大批纳米技术高技能人才,7月22日,以中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台为基础组建的苏州工业园区纳米技术人...
2011-07-25
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[地方]
全领域
上海复旦大学近日成立微纳加工和器件公共实验室
教育装备采购网讯:从复旦大学获悉,近日,经校长办公会议最终审议通过,决定成立复旦大学微纳加工和器件公共实验室。实验室由物理系系主任沈健教授牵头,物理系和微电子系共同参与建设和运转。...
2011-06-27
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[实验室动态]
全领域
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