北京燕京电子有限公司

 光学薄膜测厚仪
  • 光学薄膜测厚仪
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    参考价格: ¥0.00
    产品型号:0 (ST2000-DLXn)
    所在地区:北京
    上架时间:2012年08月01日
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    详细说明

    光学薄膜测厚仪

    K-MAC(株)公司附属韩国物理性质分析研究所,主要开发生产具有高科技含量的 物理化学分析仪器和应用仪器。K-MAC(株)公司在北京设有分公司,可为您提供 及时的售前、售后服务。方便您的研究、生产。
    设备简介?
    1.特点
    操作简单易懂 
    非接触式、非破坏式测量方法
    可同时测量多层膜厚度 
    实时测量
     再现性好(精度可达 1A 以下) 
     厚度及光学常数(折射率、消光系 数)
    一次最多 3 层薄膜测量
    测量结果制图
    X-Y-Z 移动控制
    CCD 影像显示
    自定义测量过程
    打印预览模式

    2.应用领域
    半导体    Poly-Si, GaAS, GaN, InP, ZnS, SiGe ...
    绝缘材料    SiO 2 , Si 3 N 4 , TiO 2 , ITO, ZrO 2 , BTS, HfO 2 ...
    聚合物    PVA, PET, PP, PR ...
    LCD    a-Si, n+a-Si,Oxides, ITO, Cell Gap, Photoresist & Polyimide Film
    光学镀层    Hardnes Coating, Anti-Reflection Coating, Filters, Packing & Functional Film ...
    可纪录材料    Phtosensitive Drum, Video Head, Optical Disk ...
    其它    Photoresist Film on CRT & Shadow Mask, Thin Metal Films, Laser Mirrors ...

    3.可用的基片
    Silicon    SOI    Al 2 O 3    Aluminium
    SOS    GaAs    Glass    ......
    软件

    4.分光反射镜的工作原理
    利用可见光非接触式测量 光源与信号通道 如右图所示,钨-卤光源发出的光通过 光学显微镜入射到样片上的薄膜上,然 后从薄膜表面和基底反射的光通过入射 光纤探针内中间的一个发射光收集光纤 又入射到分光计(spectrometer)。这 个反射光由探测器里的光栅根据波长分 解后,由 CCD 转换成电子信号,再由 A/D 转换器转换成数字信号,最后通过通讯 端口输入到电脑进行分析。
    干涉频谱
    –  相干光  →  表面反射  + 薄膜  / 底层反射  = 干 涉现象  →  相长  / 相消干涉(与波长有关)
     
    光谱拟合薄膜厚度
    –  在波长范围里测量频谱的正弦波型由 薄膜厚度和  N&K 值决定
    –  由拟合计算测定频谱来优化薄膜厚度 和  N&K 值

     5产品规格
     活动范围  150 x 120mm(70 x 50mm 移动距离)
     测量范围  200?~ 35?(根据膜的类型)
     光斑尺寸  20? 典型值
     测量速度  1~2 sec./site
     应用领域  聚合体: PVA, PET, PP, PR ...
     电解质: 
     半导体: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
     选择  参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
     探头类型  三目探头
     nosepiece  Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt
     照明类型  12V 35W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transformer