北京燕京电子有限公司

光学薄膜测厚仪

光学薄膜测厚仪

参考价格:索要报价
产品型号:0 (ST2000-DLXn)
所在地区:华北 北京
留言咨询
与企业取得联系时请告知该信息获取自中国教育装备采购网
我要分享
详细说明

光学薄膜测厚仪

K-MAC(株)公司附属韩国物理性质分析研究所,主要开发生产具有高科技含量的 物理化学分析仪器和应用仪器。K-MAC(株)公司在北京设有分公司,可为您提供 及时的售前、售后服务。方便您的研究、生产。
设备简介?
1.特点
操作简单易懂 
非接触式、非破坏式测量方法
可同时测量多层膜厚度 
实时测量
 再现性好(精度可达 1A 以下) 
 厚度及光学常数(折射率、消光系 数)
一次最多 3 层薄膜测量
测量结果制图
X-Y-Z 移动控制
CCD 影像显示
自定义测量过程
打印预览模式

2.应用领域
半导体    Poly-Si, GaAS, GaN, InP, ZnS, SiGe ...
绝缘材料    SiO 2 , Si 3 N 4 , TiO 2 , ITO, ZrO 2 , BTS, HfO 2 ...
聚合物    PVA, PET, PP, PR ...
LCD    a-Si, n+a-Si,Oxides, ITO, Cell Gap, Photoresist & Polyimide Film
光学镀层    Hardnes Coating, Anti-Reflection Coating, Filters, Packing & Functional Film ...
可纪录材料    Phtosensitive Drum, Video Head, Optical Disk ...
其它    Photoresist Film on CRT & Shadow Mask, Thin Metal Films, Laser Mirrors ...

3.可用的基片
Silicon    SOI    Al 2 O 3    Aluminium
SOS    GaAs    Glass    ......
软件

4.分光反射镜的工作原理
利用可见光非接触式测量 光源与信号通道 如右图所示,钨-卤光源发出的光通过 光学显微镜入射到样片上的薄膜上,然 后从薄膜表面和基底反射的光通过入射 光纤探针内中间的一个发射光收集光纤 又入射到分光计(spectrometer)。这 个反射光由探测器里的光栅根据波长分 解后,由 CCD 转换成电子信号,再由 A/D 转换器转换成数字信号,最后通过通讯 端口输入到电脑进行分析。
干涉频谱
–  相干光  →  表面反射  + 薄膜  / 底层反射  = 干 涉现象  →  相长  / 相消干涉(与波长有关)
 
光谱拟合薄膜厚度
–  在波长范围里测量频谱的正弦波型由 薄膜厚度和  N&K 值决定
–  由拟合计算测定频谱来优化薄膜厚度 和  N&K 值

 5产品规格
 活动范围  150 x 120mm(70 x 50mm 移动距离)
 测量范围  200?~ 35?(根据膜的类型)
 光斑尺寸  20? 典型值
 测量速度  1~2 sec./site
 应用领域  聚合体: PVA, PET, PP, PR ...
 电解质: 
 半导体: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
 选择  参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
 探头类型  三目探头
 nosepiece  Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt
 照明类型  12V 35W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transformer