上海纳腾仪器有限公司
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美国 Cascade EP6探针台

美国 Cascade EP6探针台

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产品型号:C113142 (EP6)
所在地区:上海
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详细说明

仪器简介:

    Cascade Microtech 的 EP6测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台,解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计,提供了众多的配置可能性,旨在满足诸如单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。您可以通过确定最适合自己当前需要的 EP6模块来设计特有的探针台,或对自己现用的 EP6进行升级以满足未来的测量需求。

    优越的应用灵活性使得EP6能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试(DWC)、失效分析(FA)、亚微米探测、MEMS和光学工程测量;EP6也能用作一个灵活的探头卡,实现wafer级的可靠性应用(WLR),能同时配备多达20个探针座。

 技术参数:


基座    基本尺寸           Z轴可移动范围
标准平台 490mm x 490mm×480mm     10mm
X-Y-θ平台 XY范围     最小步长 θ范围 晶圆范围
EP6标准平台 155mm x 155mm 5μm      360°   6寸

主要特点:

1. 结构简单、多功能;
2. 平台配置可满足DC、RF和亚微米测量;
3. 独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升级;
4. 量程大、可配探针配件;