安合盟(天津)科技发展有限公司

 全波长(可见光)椭偏仪
  • 全波长(可见光)椭偏仪
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    参考价格: ¥0.00
    产品型号:280 (全波长(可见光)椭偏仪)
    所在地区:天津
    上架时间:2012年09月28日
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    详细说明

    全波长(可见光)椭偏仪

     

    系统规格:
    波长范围:350~850nm
    入射角:30°~ 90°
    解析度:±0.01°
    待测样品尺寸:up to 200mm
    精度:1200A SiO2标准片
    厚度:(Tks):±6A
    折射率(N):±0.01 at 632.8nm
    重复性:1200A SiO2标准片
    厚度(Tks):±2.5A
    折射率(N):±0.005 at 632.8nm (5 times)
    尺寸:140cm×50cm×60cm

    应用:

    太阳能电池
     SiNx减反膜工艺
     TiO2减反膜工艺
     复合SiNx减反膜工艺
    SiO2钝化工艺
     复合SiNx/ SiO2减反膜工艺
     SiO2掩膜工艺
    TFT-LCD
     SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si…
    SEMI
     High-k:AL2O3,SiO2,Si3N4,SiNx…
     LOW-k:SiOC,SiOF,SOG,BPSG…
    OLED
     AlQ3,CuPc…
    软件特征:
    整合量测、分析、计算     操作模式安全化     同步原始数据呈现
    硬件特征:
    高稳定性氙灯光源
    高解析度光栅式单色仪
    波长范围:350~850nm
    波长解析度:1nm,精度:0.5nm
    三格林泰勒棱镜偏振系统
    波长:260~1800nm
    消化比:>105
    发散角:≤3mrad
    真空吸附载物台
    自动连续入射角(零度校正)
    高分辨率光电倍增管探测器
    波长范围:185nm~900nm
    暗电流:≤25 nA
    自动电压增益控制系统(Vmax:1100v)