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美国产小型实验室等离子表面处理系统

美国产小型实验室等离子表面处理系统

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美国产小型实验室等离子表面处理系统


美国产Plasma Cleaning System
小型实验室等离子表面处理机

      

      等离子表面处理机是一种非破坏性的表面处理设备,它是利用能量转换技术,在一定真空负压的状态下,以电能将气体转化为活性极高的气体等离子体,气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面,引起分子结构的改变,从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗,在极短时间内有机污染物就被外接真空泵彻底抽走,其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质,所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗器既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性,也能对样品进行消毒和杀菌。等离子清洗器现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。小型等离子清洗机以体积小、成本低、操作简便等特点广泛应用于科研及小批量生产场合。

 

产品参数:

?外部尺寸: W14” x H14.5” x D18”    重量:52磅
?耐用的焊接6061 T6铝合金真空腔;
  真空腔尺寸:W5.5” x H3.5” x D7”
?等离子发生器:功率 max.150w(可调)频率:50kHz
?供气:气体流量控制器  0-25cc/min w/精密针形阀。
?压力测量:热电偶真空计  0-1Torr.
?电源:115VAC,15A  功率:400W   供气:6mm连接件
?控制器:PLC微电脑控制系统。键盘用户界面,数字字母显示器。方案工艺可以进行自动处理。
 
 
附件(可选件)
抽气装置:推荐型号:5 CFM  2级  直驱真空油泵
?氧气发生器
?附加第二气体通道。附加第二气体控制器,0-25cc/min
?100w, 13.56Mhz可自动调节射频发生器
 
美国产小型实验室等离子表面处理系统
    
 
升级装置:
?PC /笔记本电脑的控制系统:装载有等离子蚀刻软件的一台笔记本电脑是包括全自动系统操作,
流程排序,多配方存储,以及其他高级功能。
?质量流量控制器:附加质量流量控制器也可提供。

 

功能:
? 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 (如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等)进行超AA清洗。
? 改变某些材料表面的性能。
? 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
? 清除金属材料表面的氧化层。
? 对被清洗物进行消毒、杀菌。