皮米精度位移激光干涉器 - attoFPSensor
attocube公司生产的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分满足了高分辨位移与定位的工业和科研需要，其紧凑的设计和稳定性可以在端环境中使用，在大的位移测量范围内，达到25pm的位移分辨率和10MHz的采样速率，应用范围遍及闭环扫描器校准、样品或模块位移、加工业、引擎位移探测等领域。
| + 简单易用，attoFPSensor自动软件控制与校准 + 测量速度快，attoFPSensor定位样品采样带宽10MHz，分辨率25pm + 实时数据采集界面，attoFPSensor利用Ethernet或HSSL实现定位数据的实时输出 + 多轴同时测量，attoFPSensor配有立的三轴定位器，允许同时位移测量、数据处理、和定位输出 + 度高，attoFPSensor锁定分子吸附频率做参考值，得到的定位信息具有测量学意义 + 上小体积的位移测量干涉器，15mm直径和12mm长 |
| 长时间使用仍可保持picometer稳定度和精度 | 探测目标振动简单可靠 |
attoFPSensor具有高的信号稳定性，如上图时间与位移变化的关系所示： 在20mm工作距离下，其2δ为0.286nm 在70mm工作距离下，其2δ为0.530nm； 在120mm工作距离下，其2δ为1.035nm |
attoFPSensor不仅是功能强大的实时位移探测设备，而且它还是一个振动器。上图是测量attocube位移器ANPxyz得到的结果。 |
| attoFPSensor技术特点 | attoFPSensor特优势 |
+ 多维度位移干涉器 + 完备的系统配置 + 实时数字化界面 + 高速FPGA控制单元 + 10MHz采样速率 + 大1m/s样品位移速率，可选配更快速率 + 基于单模光纤的探测器 + 兼容真空与端环境 | + 高带宽位移探测 + 闭环位移控制 + MHz范围内的振动测量 + 目标样品热负载<75uW + 探测器无需进行电子器件链接 + 工业化设计 + 其可靠与稳定 |
激光探头技术参数表
FPS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。
探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。
低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。
| 激光探头 | 型号 | 尺寸mm (直径与长) | 工作距离 (低反射，高反射材料） | 激光类型 （聚焦、准直） | 光斑大小 |
D1.2/F7 | ? 1.2; 7.5 | 5-9 mm 30-45 mm | 聚焦， 焦距7mm | 70μm@7mm | |
| D4/F8 | ? 4; 11.5 | 6-10 mm 15-30 mm | 聚焦， 焦距8mm | 70μm@8mm | |
| D4/F13 | ? 4; 11.5 | 11-15 mm 30-45 mm | 聚焦， 焦距13mm | 70μm@13mm | |
| D12/F2.8 | ? 12; 32.3 | 2.8 mm | 聚焦， 焦距2.8mm | 2μm@2.8mm | |
| M12/C1.6 | ? 14; 17.4 | 0-1000 mm | 准直 | 1.6mm | |
| M15.5/C1.6 | ? 22; 20.6 | 0-1000 mm | 准直 | 1.6mm | |
| M12/C7.6 | ? 14; 49.3 | 0-5000 mm | 准直 | 7.6mm |
