两探针电阻率测试仪

产品简介

       两探针电阻率测试仪（以下简称两探针仪）是按照我国标准仪器采用GB/T 1551-1995硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法及美国材料与试验协会（ASTM）推荐的材料验收检测方法“两探针法”设计。它适用于测量横截面积均匀的圆形、方形、或矩形单晶锭的电阻率。由于两探针法的测量电流是从长棒两端进出，远离电压测量探针，因此电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应（如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等），对测量的影响较小，因此两探针法的测量精度一般优于四探针法。特别是对多晶材料的测量，由于多晶晶粒间界处，杂质局部偏析可能导致电阻率较大变化，这种影响对四探针法更为严重，故不推荐用四探针法测量多晶检验棒的电阻率。

      本仪器主要由电气测量部份（简称：主机）、测试台及两探针头组成。仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流开关，在测量某些材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护被测材料。仪器配置了本公司的产品：“小游移探针头”，间距为1.59mm的两探针头探针游移率在0.2%以下。保证了仪器测量电阻率的重复性的准确度。本机可配用KDY测量系统，设计语言为VC++，可对四探针、两探针电阻率测量数据进行处理并修正测量数据，特定数据存储格式，显示变化曲线、正反向电阻率平均值、电阻率的值、电阻率小值，给测量带来很大方便。兼容性：适用于通用电脑，支持Windows XP、Vista。

      测试仪主机由主机板、电源板、前面板、 后背板、机箱组成。电压表、电流表、电流调节电位器、恒流源开关及各种选择开关均装在前面面板上。后背板上只装有电源插座、电源开关、两探针头及电极引线连接插座、数据处理器连接插座及保险管。机箱底座上安装了主机反电源板，相互间均通过接插件联接。

 

主机技术参数

（1）测量范围：

     可测硅晶体电阻率：0.001-10000Ω·cm

     可测硅棒尺寸：长度300mm；直径20mm（均可按用户要求更改）。

（2）恒流源：

     输出电流：DC0.001-100mA  五档连续可调

     量程： 0.001-0.01mA（1-10μA）

               0.01-0.1mA（10-100μA）

               0.1-1.0mA 

               1.0-10mA

               10-100mA

      恒流精度：各档均优于±0.05%

（3）直流数字电压表：

     测量范围：0-199.99mV

     灵敏度：10μA

     基本误差：±（0.004%读数±0.01%满度）

     输入阻抗：≥0.3%

（4）电阻测量误差：≤0.3%

（5）两探针头：KDT-9

     探针间距：1.59±0.01mm   探针直径Φ0.8mm

     游移率：＜0.2%           探针材料：硬质合金（WC）

     探针压力：3±1N/单针

（6）供电电源：

     AC   220V   ±10%    50/60   Hz.   功率：12W

（7）使用环境：

     温度：23±2℃   相对温度：≤65%

     无较强的电场干扰，无强光直接照射。

（8）重量、体积：