详细说明
自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号:TP-TPY-2
产品点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有度、灵敏度以及自动控制等点。光源采用氦氖激光器,率稳定波长度。
仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件能齐,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。
椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号:TP-TPY-2规格与主要术标:
测量范围:薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围:1-10
测量小示值:≤1nm 入射角:20°- 90°度≤0.05°
度盘刻度:每格1度 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步角:0.014°/步 偏振器方位角范围:0°- 180°
测量膜厚和折射率重复性度分别为:0.5nm和0.005
仪器测量度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)
光学中心度:80mm
椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号:TP-TPY-2成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)
主机重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm
北京恒奥德仪器仪表有限公司
联系人:蕊(女士)
手机:15811023934
联系电话:010-51655247/51658042
传真:010-57553316/57553286
QQ:1465453756 2272048995