北京中慧天诚科技有限公司

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 箱式多弧磁控镀膜机 型号:YQDH-900DZX
  • 箱式多弧磁控镀膜机 型号:YQDH-900DZX
  • 箱式多弧磁控镀膜机 型号:YQDH-900DZX

    参考价格: ¥0.00
    适用范围:全领域
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    上架时间:2018年10月18日
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    箱式多弧磁控镀膜机 型号:YQDH-900DZX 货号:ZH5497
    产品简介
       该镀膜机可镀制不锈钢,铬,钨等多种金属,也可镀制合金膜或化合物,也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN  TiCN  TiAIN等硬质或装饰涂层,具有镀膜速度快,膜层质量好的优点。
    1     真空室:镀膜室尺寸900×900×1000mm3  ;箱式,前开门结构;
    2     抽气系统:机械泵:前级泵70L/S;维持泵:2×-8旋片泵;罗茨泵:扩散泵:腔扩泵;分子泵﹝选配﹞
    3     极限真空:5×10-4Pa; 恢复真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
    4     镀膜系统:平面磁控靶或圆柱磁控靶/直流功率源或中频功率源;小弧源/柱弧源;
    5     辅助镀膜系统:脉冲偏压电源。条形离子源﹝选配﹞。
    6     膜厚测量系统:石英晶体膜厚监控系统﹝选配﹞。
    7     进气系统:自动压强控制+多路质量流量控制系统;
    8     操作方式:手动按键式;自动控型配置:研华工控机,80G硬盘,512内存+日本三菱PLC;15英寸液晶显示触摸屏界面;
    9     旋转夹具:公转/自转夹具,速度从0~15r/min  无级可调;
    10    工作烘烤:室温~300 ℃;
    11    供电电源:三相380V,50HZ。
    箱式多弧磁控镀膜机 型号:YQDH-900DZX