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400nm ~ 1100nm |
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0.05mm |
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±(0.05mrad+Θσ×5%) |
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±0.1mm |
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±(0.1mm+ dσ0×5%) |
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Φ40mm |
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AC 220V±10%, 50Hz±5% |
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250W |
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820mm×320mm×260mm |
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14kg(不计计算机) |