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型号:SM-4 |
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迷你型探针台 特点 |
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紧凑的结构 |
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轻巧的重量 |
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实惠的价格 |
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可以做光电方面测试应用 |
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LED/LD/PD的光强/波长测试 |
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可以进行射频测试，加装东/西方向针座 |
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适合大学实验室通用 |
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适合4"以下晶圆测试 |
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Chuck通过x-y方向丝杠驱动 |
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无后座力移动 |
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规格 |
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真空吸附型CHUCK |
4英寸不锈钢材质 |
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Chuck行程 |
X-Y方向行程4"x4" |
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Chuck移动精度 |
10微米 |
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Chuck可旋转角度 |
0~360° |
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平台 |
可放置6个针座 |
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需求 |
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电力 |
220VAC,60Hz |
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真空 |
-250mmHg,7liter/min |
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尺寸 |
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400mm长x400mm宽x400mm高(带显微镜) |
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重30Kg(带显微镜) |
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可选附件 |
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Chuck快速拉出装置 |
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积分球夹具 |
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显微镜倾仰装置和快速移动装置 |
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光强/波长测试接口部件 |
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射频测试探头和线缆 |
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有源探头 |
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低电流/电容测试 |
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高压测试 |
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视频CCD系统 |
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封装器件夹具 |
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PCB板夹具 |
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加热系统 |
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防震台 |
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箱 |
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镀金Chuck |
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