热式气体质量流量控制器型号;DP-S48 32/HMT
编号 |
项目 |
S48 32/HMT |
1 |
流量规格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min |
2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
4 |
安装方向 |
意 |
5 |
流量控制范围 |
2%- |
6 |
流量测量范围 |
(0-100)% |
7 |
零点温漂 |
0.6%F.S.(15~35℃) |
8 |
响应时间 |
2s(T98,设定值的±2%F.S.) |
9 |
作环境温度 |
5~50℃ |
10 |
度保证温度 |
15~35℃ |
11 |
度 |
±1.0%F.S |
12 |
线性 |
±0.5%F.S |
13 |
重复度 |
±0.2%F.S |
14 |
作压差范围 |
~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa |
15 |
耐压 |
3MPa |
16 |
漏率 |
1×10-8Pa.m3/s(He) |
17 |
管路接头 |
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm |
18 |
供电电源 |
±15VDC(±5%)+15V,100mA;-15V,200mA |
19 |
设定信号 |
(0-5)VDC 输入阻抗>1MΩ |
20 |
流量输出信号 |
(0-5)VDC 负载输出电流能力≤3mA |
21 |
电气接头 |
D-SUB15 |
22 |
尺寸(mm) |
113(宽)×121()×32(厚) |