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 快速退火炉JETLIGHT 50
  • 快速退火炉JETLIGHT 50
  • 快速退火炉JETLIGHT 50

    参考价格: ¥200000.00
    品  牌:semco
    产品型号:JETLIGHT50
    适用范围:高教
    所在地区:法国
    应用院校:北京大学
    上架时间:2018年08月01日
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    详细说明

    SEMCO JETLIGHT 50系统是一个简单稳定的热处理系统,适合于广泛最大尺寸为直径2英寸的基片材料和结构的快速热低温退火(RTA),(如电子级硅、钢铁、玻璃、单晶硅、III-V族化合物、II-VI族化合物、锗、超导体、陶瓷等等)。焚化炉配有一个管状石英反应室,因此可兼容处理最大长度为150毫米的3 D样片。

    法国RTP系列的快速退火炉由法国Semco公司专业开发制造,法国工艺保障。温度均匀度≤1%,处理的最大尺寸可以达到300mm,最高温度可以达到1200摄氏度,处理过程可以在真空环境或者惰性气体的环境中执行,做多可支持4路进气,可以用到的气体包含N2O2N2H2ArH2

    基于PID处理控制器的Eurotherm可以存储20套程序,每套程序可以支持高达100个步骤的设定,带USB2.0的接口。

    包含UniSoft软件,与微软Windows操作系统兼容。通过该软件,通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。

    Semco的退火炉主要几款型号:

    1. JetLight 50

    产品特点:

    1、基片从前面载入/取出;

    2、红外卤素灯管加热,冷却采用风冷(低噪音水平,无需压缩空气);

    3、石英腔体,腔体冷却采用水冷,冷壁设计,双层不锈钢;

    产品技术参数:

    1腔体尺寸:直径50mm×深度150mm

    2、红外卤素灯:6支;最大功率:15KW

    3、红外卤素灯冷却方式:风冷;

    4、温度范围:室温~1000℃;

    5、温度精度:±1

    6温度控制:快速数字PID控制;

    8、热电偶:K型热电偶;

    9、工艺气体气路配质量流量计:压力:2bars

    10、尺寸:500*500*400mm (W*D*H)

    2JetFirst 100C

    基片从前面载入/取出;

    JetFirst Series

    JetFirst 100C

    JetFirst 200C

    JetFirst 300C

    处理最大样品尺寸

    100mm

    200mm

    300mm

    最高温度()

    室温~1200/s

    室温~1200/s

    室温~1200/s

    工艺气体

    1~4

    1~4

    1~4

    红外卤素灯

    12支,最大功率:34KW

    18支,最大功率:34KW

    18支,最大功率34KW

    红外卤素灯冷却方式

    风冷

    风冷

    风冷

    温度控制

    PID数控

    PID数控

    PID数控

    温度精度

    ±1

    ±1

    ±1

    热电偶

    K型热电偶

    K型热电偶

    K型热电偶

    机器外观

    台式机

    台式机

    立式机

    设备尺寸(LxDxH)

    850 x 800 x700mm

    850 x 800 x700mm

    1000 x 850 x1500mm

    3JetStar

    也可以用于污染物处理;

    基片从上面载入/取出;

    最大可支持的尺寸:直径为300mmWafer或者300mm×300mm的基片;

    最高温度高达1000摄氏度;

    升温速率为40K/sec

    降温速率分段控制:从1000400,降温速率优于200K/sec。从400100最大降温速率控制在30K/sec

    快速退火炉JETLIGHT 50