采购项目名称 | 实验室硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目公开招标公告 |
品目 | 实验室设备 实验室设备 实验仪器及装置 |
所属领域 | |
行政区域 | |
招标时间 | 2015年05月01日 至 2018年06月04日 |
开标时间 | 2018年06月04日 |
预算金额 | 970万 |
采购项目名称 | 实验室硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目公开招标公告 |
品目 | 实验室设备 实验室设备 实验仪器及装置 |
所属领域 | |
行政区域 | |
招标时间 | 2015年05月01日 至 2018年06月04日 |
开标时间 | 2018年06月04日 |
预算金额 | 970万 |