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用于硅片UV胶带辐照用紧凑型光源

中国教育装备采购网 2007/5/25 14:30:06 围观1188次 我要分享

UVITRON面光源用于UV TAPES应用
 
在硅片制作后工艺中,比如硅片蚀刻,硅片分割等,会使用特别的UV tape(UV胶带)。一些厂家比如FURUKAWA, LINTEC都有类似产品。这种UV胶带,在没有收到UV照射前,粘接强度非常大,粘接住硅片,做切割工艺。完成切割后,使用一定量的UV照射,粘接强度立刻降低,可以容易地逐个取下分割好的硅片,如下图:
 
 
使用UVITRON INTELLI-RAY或SUNRAY系列,可以照射大到12inch的硅片,几秒时间内完成。而不需要昂贵的半导体专业设备。经济高效的解决方案,满足实验室或是批量生产的要求。
 
INTELLIRAY 400 (INTELLIRAY 600), UVA强度达到100mw/cm2 (150mw/cm2), 最小固化面积8×6inch,通过距离调节,可以辐照更大的面积。如果是8inch以上硅片,建议使用600W的光源。独立的光源模块,可以安装在支架或是客户化的夹具上。
600W UV光源 

文章标签: uv tapes UV胶带 UV光源 dicing

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