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高精度、易集成的皮米精度激光干涉仪在齿轮箱机械载荷试验运动跟踪上的全新探索
研究背景驱动工程行业中的部件需要测试多种机械特性,例如,需要检查齿轮箱的长期平滑度、同步性、齿隙、扭转刚度、摩擦行为和机械弹性[1,2]。测试实验室通常配备各种测试台...
2023-01-31
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[技术]
高教
晶圆加工精度控制的关键!Yaw偏航角追踪的闭环XY方向控制
近年来,半导体行业飞速发展,节点技术不断缩小,EUV(紫外)和电子束技术成为佳选择,对例如晶圆,光罩,光束对准,光学元件,反射镜等的纳米加工要求也逐步提升。尤其是对...
2022-07-26
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[技术]
高教
德国Attocube皮米精度激光干涉仪 IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用探索
研究背景由于空间环境的特殊性,导致在设计航天器时对其所使用的材料有非常严格的限制和要求,尤其是材料的热稳定性。这些严格的限制也体现在飞行器在地面上的严格检测,包...
2021-01-21
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[应用]
高教
皮米精度激光干涉仪如何在众多前沿领域中大显神通?
1.IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波(FMCW)雷达中的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究,其中可靠和高分辨率的距离测量雷达的开发是尤为重要的。德...
2020-04-28
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[应用]
高教
Nature:皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑绝缘体观测
电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带,它预言二维量子化的四绝缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的SebastianHuber教授课题组巧妙地利用一种机...
2019-05-21
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936
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[应用]
高教
皮米精度激光干涉仪IDS3010荣获iF大奖
德国attocube公司推出的皮米精度激光干涉仪IDS3010凭借其特的设计原理、超高的稳定性并且可在端环境中使用的特点,获得了全球工业设计奖项之一的“iF设计奖”。图1:德国at...
2018-12-19
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[技术]
高教
皮米精度激光干涉仪如何实现位移反馈?
坐标这个概念源于解析几何,其基本思想是构建坐标系,将点与实数联系起来,进而可以将平面上的曲线用代数方程表示。坐标的概念应用到工业生产中解决了大量实际问题,例如,坐标测量机可采集被测...
2018-05-23
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[应用]
高教
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