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探针式轮廓仪/三维形貌仪
  • 探针式轮廓仪/三维形貌仪
  • 探针式轮廓仪/三维形貌仪

    产品报价: 180000
    品  牌:美国AEP Technology
    产品型号:NANOMAP 500LS
    适用范围:高教
    所在地区:美国
    (联系我时,请说明是在教育装备采购网上看到的,谢谢!)
    详细说明

    美国AEP Technology公司主要从事半导体检测设备, MEMS检测设备, 光学检测设备的生产制造,是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。
    NANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪技术特点

    • 常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合。
    • 双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图。
    • 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
    • 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。
    • 针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(最大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (最小0.1nm )
    • 软件设置恒定微力接触。
    • 简单的2步关键操作,友好的软件操作界面。

    应用

    • 三维表面轮廓测量和粗糙度测量,即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
    • 薄膜和厚膜的台阶高度测量。
    • 划痕形貌,磨损深度、宽度和体积定量测量。
    • 空间分析和表面纹理表征。
    • 平面度和曲率测量。
    • 二维薄膜应力测量。
    • 微电子表面分析和MEMS表征。
    • 表面质量和缺陷检测。

    探针式轮廓仪/三维形貌仪

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