| 多功能真空实验仪 型号：YQDH2010 | 货号：ZH5503 |
| 产品简介 实验仪是一个真空实验平台，能够很直观反映真空获得的过程。由真空获得部分、真空镀膜和电控及仪表等部分组成，结构合理，运行，适合于对学生开展真空实验教学。 1、真空的获得与测量； 2、蒸发法薄膜制备； 主要特点： 1 设备的真空反应室、油扩散泵、真空管路部件透明； 2 电气控制有护，止误操作对操作人员和设备造成的损伤； 3 管路采用不锈钢、真空橡胶管结合，阀门为电控双向截止阀，真空室内有烘烤除气设备； 4 一机多用的功能，针对高校开展综合性、设计性和开放性实验的要求，预留有大空间的真空室，在配置一些组件后，就能方便开设其他扩展实验项目。 主要参数： 1、φ230mm×255mm硬质玻璃真空室； 2、采用机械泵、四玻璃质油扩散泵两真空系统，扩散泵油量125～140ml，带水冷； 3、真空度：开机60分钟后可达6×10-3Pa，限真空度：9.6×10-4Pa；恢复真空时间＜40分钟； 4、采用一对无氧铜电蒸发电，电间距70mm，可选用钨丝或钼舟作蒸发源，蒸发电流调节范围：0~150A； 5、衬底可加热。衬底加热温度范围：室温~200℃； 6、工作电压：AC220V±5%，50Hz，整机功率3.5KW； 7、工作环境要求：温度低于30℃，湿度≤70%；冷却水温度22℃±3℃，水循环用户自备。 |  |
