北京中慧天诚科技有限公司

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 箱式电子束蒸发镀膜机 型号:YQDH-500ZZS
  • 箱式电子束蒸发镀膜机 型号:YQDH-500ZZS
  • 箱式电子束蒸发镀膜机 型号:YQDH-500ZZS

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    适用范围:全领域
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    上架时间:2018年12月28日
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  • 详细说明
    箱式电子束蒸发镀膜机 型号:YQDH-500ZZS 货号:ZH5496
    产品简介
      适用于制备导电薄膜,半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,高性能薄膜研究及新材料科学研究工作。其主要特点为功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。
    主要技术参数
    1、镀膜室体积:500×500×600mm3,特殊规格可定做;
    2、极限真空度:6.7×10-5 Pa,恢复真空:从大气抽至6.7×10-4 Pa ≤(40分钟);
    3、真空抽气系统:机械泵与复合分子泵组成;真空测量系统:复合数显真空计;
    4、蒸发源:电子束蒸发源:270°E型电子枪及高压电源,电子枪功率0~6KW可调;
               电阻蒸发源:铜水冷电极4根,功率:3kW/10V两组;
    5、结构形式:立式前开门后置抽气系统;
    6、工件烘烤温度:室温~800℃可控可调(PID控温);
    7、旋转夹具:公转或行星公自转夹具。速度从 0r~30r/min 无级可调;
    8、选配件:光学膜厚测量系统、石英晶振测厚仪、高压离子轰击、霍尔离子源、冷却水机组等;
    9、供电电源:三相AC380V,50Hz;整机功率22KW。
    箱式电子束蒸发镀膜机 型号:YQDH-500ZZS