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压电偏摆镜 压电偏转镜 超大摆角120mrad - 研生 中国制造

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研生科技
压电陶瓷,压电纳米定位,压电偏转镜
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压电偏摆镜 压电偏转镜 超大摆角120mrad - 研生 中国制造 技术领先

二维纳米级光束 压电偏转镜 ║P35系列

行程:θXθY120mrad

P35系列是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密光束压电偏摆镜,压电偏摆镜内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,超大偏转角设计,偏转范围达120mrad,摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了摆镜具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计,可更好的集成于光学系统中。可根据用户需求定制安装及出线方式。

产品特点:

◆紧凑的外形尺寸,结构紧凑,易于集成;

◆ 采用无摩擦、无回差紧凑的差分式并联结构柔性导向系统,具有超高的导向精度;

◆内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择,可提供定制安装及出线方式。

产品应用:

图像处理/稳定 • 隔行扫描,抖动 • 激光扫描 • 光束偏摆/稳定 • 激光通信 • 光过滤/转换 • 纳米定位

辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。

研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富,运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ],运动行程从几微米至几千微米,承载能力从几百克至几百千克,推/拉力从几牛顿至几千牛顿,具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,主要技术指标已达到国际先进水平,可完美地替代进口产品。

研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、超精密加工、先进自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工等的高精密装备制造商。

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