卓立汉光半导体参数分析仪SPM300系列

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品　　牌：zolix

产品型号：SPM300系列

适用范围：高教

所在地区：

　　基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪，具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析，空间分辨率＜ 800nm （典型值），也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件，可对数据进行拟合计算，直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定，重复性好，可用于实验室检验或者产线监测。

　　① 光路接口盒：

　　内置常用激光器及激光片组，拓展激光器包含自由光及单模光纤输入；

　　② 光路转向控制：

　　光路转向控制可向下或向左，与原子力、低温、探针台等设备连用，可升级振镜选项

　　③ 明视场相机：

　　明视场相机代替目镜

　　④ 显微镜：

　　正置科研级金相显微镜，标配落射式明暗场照明，其它照明方式可升级

　　⑤ 电动位移台：

　　75mm*50mm 行程高精度电动载物台，1μm 定位精度

　　⑥ 光纤共聚焦耦合：

　　光纤共聚焦耦合为可选项，提高空间分辨率

　　⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合：

　　标配CCD- 狭缝耦合方式，可使用光谱仪成像模式，高光通量

　　⑧ 光谱CCD：

　　背照式深耗尽型光谱CCD相机， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%

　　⑨ 320mm 光谱仪：

　　F/4.2高光通量影像校正光谱仪， 1*10-5 杂散光抑制比

　　卓立汉光半导体参数分析仪SPM300系列主要应用

　　卓立汉光半导体参数分析仪SPM300系列选型表

　　系统参数

　　测试案例举例