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【哈尔滨工业大学】多功能静电键合仪
【多功能静电键合仪】功能/作用介绍简介静电键合又称阳极键合、场助键合。它是近年来高速发展的微机械电子系统(Micro-electromechanicalSystems,MEMS)领域的关键技术,被广泛应用于硅-玻璃基压...
2014-10-24
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