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[报告主题及简介]报告一：无掩模光刻技术新进展-全新亚微米分辨直写技术在微纳器件制备中的应用在制备新型微电子、自旋电子学、传感器等器件时，通常会涉及到光刻工艺。而在...

2020-04-20 围观1657次 [企业] 高教

近期，瑞士swisslitho公司利用3d纳米高速直写设备完成了nano-dog贺卡的制作，尺寸仅有9.2mx5.5m，z轴精度1nm，突破了纳米加工尺寸的限，是目前精度高的纳米贺卡。喜气洋洋的旺旺狗，体现了这款设...

2018-03-09 围观541次 [方案] 高教

导|读近期，瑞士IBM苏黎世研发中心的Colin博士和Swisslitho公司的Martin博士利用热扫描探针(T-SPL)纳米加工技术，配合干法蚀刻解决方案实现了相互作用微腔(两个相邻的光学微腔)，并对微腔距离进...

2018-02-06 围观845次 [应用] 高教

科学技术不断发展的时代，功能结构的微纳米化不仅可以带来能源与原材料的节省，同时可以实现多功能的高度集成和生产成本的大大降低。微纳米加工技术主要分为直接加工技术和图形转移技术。直接加...

2016-09-13 围观970次 [前沿] 高教