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台式ALD,Nat. Mater.!二维晶体管介电层集成研究取得重要进展
台式三维原子层沉积系统-ALD体积小巧,可放在实验桌上多片4,6,8英寸样品同时沉积厚度均匀性高于99%适合复杂/掺杂薄膜沉积二维半导体表面沉积利器......随着现代半导体行业...
2023-10-19
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4721
次
[方案]
高教
ACS Nano:原子层沉积技术助力复杂纳米结构的合成和调控取得新进展
MoS2(二硫化钼),由于其优异的带隙结构(直接带隙为1.8eV),高表面体积比和的场效应晶体管(FET,fieldeffecttransistor)性能,已成为·具代表性的二维过渡金属硫族化合物(T...
2022-01-17
围观
7843
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[原理]
高教
原子层沉积技术——“自下而上”构建和调控异质催化剂结构和性能
引言异质催化剂的合成通常借助于传统的湿法化学法,包括浸渍法、离子交换和沉积-沉淀法等。然而,这些方法合成的催化材料往往具有非常复杂的结构和活性位点分布不均匀等问题...
2020-12-07
围观
1762
次
[应用]
高教
原子层/分子层沉积技术助力新一代高性能储能器件研究
引言原子层/分子层沉积(ALD/MLD,Atomiclayerdeposition/Molecularlayerdeposition)技术,是指将被沉积物质以单原子/单分子形式逐层附着在基底上的一种化学气相沉积技术。它利...
2020-03-02
围观
3191
次
[前沿]
高教
Nano Energy:分子层沉积技术助力铂基催化剂性能提升
由于在氢氧化(hydrogenoxidation)和氧还原(oxygenreduction)反应中的高效催化特性,铂基催化剂被广泛地应用于质子交换膜燃料电池当中的关键组成部分,比如阴和阳。然而...
2019-05-28
围观
1012
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[应用]
高教
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