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微纳光刻好助手!小型台式无掩膜直写光刻系统
随着国内各学科的发展和产业的升级,相关的科研院所和企事业单位对各种微纳器件光刻加工的需求日益增多。然而,这些微纳器件光刻需求很难被传统的掩模光刻设备所满足,主要...
2023-05-29
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5396
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[方案]
高教
LIGA/UV-LIGA电镀加工|MEMS传感器件芯片
LIGA/UV-LIGA电镀加工|MEMS器件芯片微系统(Microsystem,欧洲惯用词)、微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS,美国惯用词)和微机械(Micromachine,日本惯用词)能够将微传感器、微执...
2022-06-23
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2319
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[企业]
高教
“微莲花,微祝福”| 无掩膜激光直写光刻仪3D灰度曝光应用
近年来,实现微纳尺度下的3D灰度结构在包括微机电(MEMS)、微纳光学及微流控研究领域内备受关注,良好的线性侧壁灰度结构可以很大程度上提高维纳器件的静电力学特性,信号...
2020-07-06
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2296
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[方案]
高教
Nature子刊带大家进入热扫描探针构筑的奇妙纳米
上世纪五十年代末期,诺奖得主、物理学鬼才理查德费曼在加州理工学院的物理年会上,作了题为《There'sPlentyofRoomattheBottom》的报告,具前瞻性地提出了他对于纳米尺度操...
2020-04-26
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1149
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[前沿]
高教
上海未来工程师大赛捐赠签约仪式在上海举行
今天,第十四届上海未来工程师大赛捐赠签约仪式在上海科技馆举办。ASML阿斯麦(上海)光刻设备有限公司向上海科普教育发展基金会捐赠人民币60万元,用于资助本年度上海未来工程师大赛。上海未来工...
2017-10-19
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[地方]
职教
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