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微电子洁净厂房的特点和火灾危险性
一、微电子工业类洁净厂房的特殊工艺决定了它具有以下特点和火灾危险性:(1)厂房内大量存在用特殊的板材设置的洁净室。洁净室是个相对密闭空间,有的还是无窗密闭体。一般不设置开启通风窗,密闭...
2017-03-31
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