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    一种快速循环气冷真空炉

      摘要:本发明是一种快速循环气冷真空炉,包括快速循环气冷真空炉及其快速循环气冷系统,本快速循环气冷真空炉应用于材料、机械领域。本发明通过将罗茨泵、变频电机和水冷系统与真空炉串联成循环气路,利用罗茨泵在低压下的高压缩比,使得稀薄气体可以在任意尺寸、形状的真空炉中连续、均匀地循环。加上两侧的水冷装置,可以快速冷却真空炉中的物料。这种快速循环气冷真空炉将大大增加真空炉的使用范围和使用效率,提高真空炉温度、压力的控制范围与精度,并改善多工件的温度均匀性。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人北京泰科诺科技有限公司;
    • 发明人施戈;彭建;陈良贤;
    • 地址102212 北京市昌平区崔村镇西辛峰工业园村南6区1号
    • 申请号CN201310517646.2
    • 申请时间2013年10月28日
    • 申请公布号CN103557710A
    • 申请公布时间2014年02月05日
    • 分类号F27D9/00(2006.01)I;