摘要：本实用新型公开了一种晶圆激光打标机的自动送料机构，其安装于晶圆激光打标机上，该自动送料机构包括有能带动晶圆进行上下移动的工装升降装置、能抓取晶圆并将晶圆水平移送到打标位置下方的晶圆抓取装置以及能将晶圆抬高到适合激光打标高度的晶圆升降装置。借由本实用新型的晶圆激光打标机的自动送料机构，可以提高激光打标机的工作效率，该送料机构具有稳定、高效、安全等优点。
- 专利类型实用新型
- 申请人武汉华工激光工程有限责任公司;
- 发明人闵大勇;卢飞星;孙绍文;王伟;
- 地址430223 湖北省武汉市东湖开发区华中科技大学科技园激光产业园
- 申请号CN201120386771.0
- 申请时间2011年10月12日
- 申请公布号CN202278843U
- 申请公布时间2012年06月20日
- 分类号B41J11/00(2006.01)I;
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