摘要：本实用新型公开了一种无母篮清洗机，包括机架、安装于机架上的清洗槽和机械手，所述机械手的悬臂位于清洗槽的上方，在悬臂上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座，各抓取钩座均固定设置有硅片篮抓取钩，所述清洗槽内设置有硅片篮托盘。该无母篮清洗机不仅可以在每一工位同时进行数个硅片篮的清洗，具有较高的生产效率，而且无需清洗母篮，减少用工，降低使用成本。
- 专利类型实用新型
- 申请人上海思恩电子技术（东台）有限公司;
- 发明人倪加乐;滕明;陈玉华;陈蒙;
- 地址224200 江苏省盐城市东台市城东新区东进大道48号
- 申请号CN201420010717.X
- 申请时间2014年01月09日
- 申请公布号CN203664250U
- 申请公布时间2014年06月25日
- 分类号B08B3/04(2006.01)I;B25J9/00(2006.01)I;B25J9/10(2006.01)I;B25J19/00(2006.01)I;
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