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    一种多晶硅铸锭炉的锥形导流筒结构

      摘要:一种多晶硅铸锭炉的锥形导流筒结构,其包括固定套管(1),导流筒本体(2),所述导流筒本体(2)置于固定套管(1)中,导流筒本体(2)的下端呈锥形,锥形小端的直径小于坩埚盖板(3)中心孔(11)的直径,导流筒本体(2)的锥形下端能够伸入坩埚盖板(3)的下方。本实用新型通过独特的结构设计,可以降低导流筒本体(2)下端与硅熔体(8)水平距离(9),从而提高进气气体的吹扫能力,因此硅晶体的碳氧等杂质含量比传统导流筒结构的杂质含量要低,晶体质量也有提高。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人湖南大学;
    • 发明人吕铁铮;
    • 地址410082 湖南省长沙市岳麓区麓山南路
    • 申请号CN201420322224.X
    • 申请时间2014年06月17日
    • 申请公布号CN203923456U
    • 申请公布时间2014年11月05日
    • 分类号C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;