X-Strata960测厚仪基于25年涂镀层测量经验，在CMI900系列测厚仪的坚实基础上，引进全新的设计：
技术参数
主要规格
规格描述
X射线激发和检测
牛津仪器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦点钨靶X射线管
高分辨封气(Xe)正比计数器可获取的计数灵敏度，配合二次滤光器机构实现的检出效果
数字脉冲处理
4096通道数字多道分析器，数字光谱处理过程可获取的信号采集(每秒计数量)，从而保证的测量统计结果
手动或自动透镜控制
手动透镜控制：通过手动调整DIM旋钮控制分析聚焦距离
自动透镜控制：激光束自动寻找DIM系统的分析聚焦距离
自由距离测定
简化系统设置和维护
在聚焦距离范围内仅需要一个校正
对不规则样品更灵活的测量
在12.7mm-88.9mm的自由距离内，可准确测量样品表面的任何一点
通过DIM旋钮或使用自动激光聚焦功能，可快速、准确的确定聚焦距离
附带自动透镜功能的自动激光聚焦
独特的、自动样品摆放系统
激光扫描单键启动
消除样品碰击Z轴的机会
改善DIM的聚焦过程
标准激光聚焦
标准激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上，自动寻找正确的Z轴位置，提高分析再现性，结果不受人为操作的影响
Z轴聚焦扫描单键启动
改善DIM和常规固定焦距测量时的聚焦过程
微小准直器
仪器至少装备一个客户指定规格的准直器以化测量，并提高测量效率
备有各种规格准直器(0.015mm – 0.5mm),园形或矩形供客户选用
多准直器程序交换系统可同时安装4个准直器
大样品室设计
方便超大样品的推拉式平台：如大面积PCB板、较长的管材样品
大型开发式样品室：方便于从各方向进样和观察样品
三种样品台备选：可编程XY轴样品台、手动XY轴样品台、固定位置样品台
标准配置自动化Z轴：高度230mm
集成化计算机
工作站式设计：改善人机工程学、方便使用
简化设备安装：仅需要接入主电源线，没有其他电缆
减少整机占用空间
USB和Ethernet接口：打印机、刻录机、局域网和远程在线支持功能
其他硬件特点
CCD相机拥有2x、3x或4x的变焦功能，可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图像观测
温度补偿功能监测系统温度，并自动校正由于温度变化可能引起的仪器漂移，保证长期的仪器稳定性
光谱校准、单击鼠标执行系统性能自检和校正程序保证仪器长期的稳定性
坚实耐用的仪器设计适用于各种工业环境
一体化工作站设计实现的人机工程学
