· 采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性
· 高检测灵敏度
· 能检测很多种类的半导体特气
· 液晶数字显示规格:
型号
XD-303AH
XD-303PH
XD-303BH
XD-303
检测对象气体
砷烷 (ASH3)
磷烷 (PH3)
乙硼烷(B2H6)
其它
检测范围
0～1ppm 0～0.2ppm
0～1ppm 0～0.3ppm
0～1ppm
因规格而异
小刻度
0.1ppm0.01ppm
0.1ppm
采样方式
自动吸引式
应答速度
60%应答40秒
