硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氢化合物。目前应用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。
可长时间连续工作PTM400-SiH4硅烷分析仪产品特点：
* 外观整洁大方，防爆、防震
* 、高分辨率，响应快速
* 采用容量锂电充电电池，可长时间连续工作
* 通过采样手柄可以达到1.5米的采样距离远
* 数字LCD背光显示，声光报警功能
* 上、下限报警值可设定，可进行零点和目标点校准，内置
温度补偿，维护方便
* 宽量程，量程可达到50000ppm、100.00%Vol 、100.0%LEL
* 操作简单，具有数据恢复功能，免去误操作引起的
可长时间连续工作PTM400-SiH4硅烷分析仪参数：
检测气体：硅烷
检测原理：电化学
检测范围：0～1ppm、50ppm可选
分 辨 率：0.01ppm
检测方式：泵吸式
显示方式：LCD液晶背光显示
检测精度：±2%.FS
报警方式：声光报警(报警点可调)
响应时间：小于30S
恢复时间：小于40S
线性误差：±1.0%
不确定度：2%Rd±0.1
零点漂移：≤±2.0%FS/年
跨度漂移：≤±1.0%FS/月
工作电源：DC3.6V
传感器寿命：2年以上
使用环境：温度-20℃~+70℃；相对湿度≤95%RH（非凝露）；在凝露环境下使用需订制
电池容量：3.6VDC，5000mA ,带充电保护功能
外型尺寸：180×190×100mm(L×W×H)
配件：0.8m采样手柄一根，仪器箱一个，充电器一个
重 量：1.5Kg
可长时间连续工作PTM400-SiH4硅烷分析仪
硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷应用于微电子、光电子工业， 用于太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今上的大规模粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的应用还在不断出现, 包括用于陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新、新材料、新器件的基础。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著称。硅烷有宽的自发着火范围和的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。
