由单质氟与硫直接化合而得。反应也会生成硫的其他氟化物如十氟化二硫，可通过加热使其歧化后，再用氢氧化钠处理除去剩余的四氟化硫而纯化。
自动保护功能MIC-500-SF6固定式六氟化硫检测仪特点 ：
● 防爆等级为ExdⅡCT6
● 、长寿命的传感器
● 自动跟踪零点、温度补偿
● 防高浓度气体冲击的自动保护功能
● 全软件校准功能
● 三线制4～20mA信号输出
● 两个电缆进线口，方便现场安装
● 主要用于对危险气体、化学品的监控，可测量低浓度和高浓度，控制车间的气体浓度使之达到规定车间安全浓度或防止由于气体浓度过高而发生爆炸
自动保护功能MIC-500-SF6固定式六氟化硫检测仪指标：
检测气体：六氟化硫
分子式 ：SF6
检测原理：红外、热导
测量范围：0-200ppm,1000ppm,2000ppm,5000ppm，LEL,vol其它量程可根据客户要求订做
精 度：±3%FS
分辨率： 1ppm
响应时间：≤30秒
恢复时间：≤60秒
防爆标志：ExdⅡCT6
防爆连接螺纹：3/4"NPT
信号输出：4～20mA电流(3线)
传输距离：1100米（2.5平方毫米铜芯电缆）
工作温度：-20℃～+50℃
相对湿度：20%～95%RH
电 源：24VDC±12VDC
功耗：2.5W
重 量：约1.5Kg
六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种空气和油之间的新一代压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，如：断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子领域。冷冻工业作为制冷剂，制冷范围可在-45℃～0℃之间。电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。
