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北京西润斯仪器仪表有限公司
XRS-TA-280
详细说明
产品简介：TA-280高性能匀胶机旋涂仪
主要用于液体，胶体在材料表面形成薄膜。
TA-280高性能匀胶机旋涂仪 适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不锈钢，金属等制版表面涂覆工艺。
TA-280高性能匀胶机旋涂仪 可在科研，教育，中应用。
"spin coater " 行业称：匀胶机 匀胶台 甩胶机、旋涂仪 旋转涂膜机 旋涂机
产品型号：
TA-280匀胶机
TA-280匀胶机： 工作腔内径D290mm 适合直径D10mm-280mm园片及 200mmX200mm方形片。
主要特点：
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 高精度26程序控制器：
可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程；
每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态；
加速度（及负加速度），可设置。
中英文两套操作系统供选择。
操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序，方便快速调试并存储程序。
设置程序：国际标准通用符号，6键操作，人机交互式对话，提示操作。
无需培训，上手就会操作。
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 可连接滴胶机，自动控制在的瞬间滴胶，自动控制重复定量滴胶。
的重复的自动控制操作，是人工不可能及的。
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 工作腔可氮气保护。
我们设备通过有效的惰性气体保护机构，对所有的环境变量（温度，湿度，洁净度）有效控制，
这一点针对科研实验的苛刻要求而开发。
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 真空吸片，爪卡机构。2种工作状态随意选择。 爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 中心结构定位：圆形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位精度高。
主机标准配备一片真空吸盘即可满足（TA-280适用3英寸-11英寸基片）；（TA-360适用3英寸-14英寸基片）。
小于3英寸可使用定制真空吸盘。
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 卡盘，吸盘品种丰富，适应各种需要。
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 真空吸片系统更安全：
安装有真空度传感器，涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度，在安全的真空度下，
电机启动，运行。保障可靠吸片，不飞片。运行中失去真空，系统保护性停机。
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 伺服电机，转速精度更高：300 - 10000 转/分，转速稳定性：+ - 0.1 % 转速10000转/分
*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 设备所用的天然聚丙烯（NPP）材质，食品级卫生材料，易清洁，材质性能稳定，绿色环保型实验室的选择。
参数：
单相交流电源：220V.50Hz
电机功率：200W
转数：300 - 10000 转/分。
可设定时间：1---9999秒。
标准包装：尺寸： 490mm宽 x 380mm深 x 310 mm高 ,
