型 号 XP-703D检测对象气体半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）检测原理热线型半导体式采样方式自动吸引式可检测浓度（单位：ppm）砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H20.2 0.3 0.1 0.5 1.0检测表示蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁应答速度10秒以内
