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四探针测试系统(for 300/450mm wafer)

四探针测试系统(for 300/450mm wafer)
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SR5000
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高教
韩国
三星,SK,Aixtron,海力士半导体,江苏纳沛斯半导体,江苏壹度科技
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产品简介:

SR5000N是一款用于测量硅片和太阳能电池片的面电阻和电阻率的系统。该系统是为便于个人计算机操作而设计的,具有多种数据分析、绘图等功能.


技术参数:

- Z大可测样品尺寸:Φ300mm 或 210×210mm

面电阻测量:1mΩ/sq ~ 2MΩ/sq

- 测量模式 : 接触式 4-探针

电阻率测量:10.0 μΩ·cm ~ 200.0 KΩ·cm

- 测量模式 : 接触式 4-探针 (需输入厚度)


软件系统:

- Recipe 测试:根据使用者设定的 Recipe 直接测试 

- 标准测试:ASTM、SEMI 

- Pattern 测试:49,81,121,225 点等 

- 数据分析:2D、3D、数据图谱、统计等

- 数据 & mapping 可打印

  

主要特点:

- X,R,Z轴全自动控制系统

- 自动& 手动范围可选

- 通过PC进行控制

- 更大尺寸(Φ450mm 或 315 x 315mm)可选




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