产品简介：
该款型号是一种可以分析从射频DC~67GHz到高频波的设备。由于射频探针头可以从四个方向方便的使用，因此它的优点是能够测量不同区域的样品。此外，它还可以与直流并联使用。
基本配置：
- 8"真空吸盘
- 漏电流：<10fA
- 射频40GHz~67GHz ; 2端口~4端口
- X/Y轴移动范围：200x200mm（细调手柄，分辨率5um）
- Z轴移动范围：10mm
- 显微镜：90x（+CCD可达300x），更大倍数可订制
- CCD相机：2.1M像素+22"液晶显示屏
- 照明装置：可调节亮度
- 真空针座：行程13mm；分辨率：1um ；精度：0.1um
- 探针支架：θ微控制
- 真空泵：低噪音真空泵
其他选项：
- 防震桌
- 暗箱（屏蔽箱）
- 加热台
- 转接头插线板
- 热夹头
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