微波等离子发生设备????????? 型号??? MHY-06460
电源：AC220V，50Hz
微波率：0-1500W连续线性可调（或0-800W连续线性可调）
微波频率：2450MHz±50MHz
石英管反应室：φ50mm
放置样品的基片台可以方便地在放电腔内上下升降调节
放电腔两端有双层水冷套作降温保护
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