产品特点:
集成手套箱
紧凑型设计
经济型解决方案
配置简单
多源共蒸
一致性标准偏差在+/-3 %区间 (几何式设计可缩小至+/-1 %)
两种型号可选: PROvap 4G 和 PROvap 5G
多可实现8源共蒸
PROvap 4G可用于大小100x100 mm或直径100 mm (4英寸)的基板
PROvap 5G可用于大小150x150 mm 或直径150 mm (6英寸)的基板
应用行业:
OLEDs/有机光电子
光伏太阳能
电池行业