产品特点：
小型PVD腔室，专门用于钙钛矿蒸镀
可集成于MBRAUN 手套箱(由过渡舱实现连接)
紧凑型设计
可用于50x50 mm大小的基板
可实现多源共蒸(4个蒸发源)
膜厚一致性标准偏差在+/-5%区间
经济型方案
交货快
有利于工艺改进和提升
应用行业：
钙钛矿太阳能电池
