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磁力真空退火炉 磁场真空合金炉

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产品报价: 200000
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晨立
cl
晨立
高教 职教
山东 青岛 即墨
详细说明

  用途:

  该设备用于半导体芯片生产工艺过程中,在可控磁场中实现真空退火、真空合金、真空晶化等工艺。该系统具有精确的磁场强度和温度控制系统和高真空系统。

  主要技术参数:

  ◆结构型式:卧式热壁型

  ◆工作温度范围:500度,700度,1100度。

  ◆恒温区长度及精度:±0.5℃/800mm

  ◆气体流量设定精度:±1%F.S

  ◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s

  ◆工艺均匀性:≤±5%

  ◆控制方式: 工业微机控制

  ◆真空度: 5*10-4 Pa

  ◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

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